為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散;另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進(jìn)或流出這個空間。如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會造成有效物資的浪費(fèi)，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省?/div>
這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進(jìn)行檢漏，使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。
普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應(yīng)用于科研院所、航空航天、動力鋰電池，閥門、精密儀表、機(jī)械加工、電力、電廠、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等。
普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀支持正壓檢漏，負(fù)壓檢漏，自動跟蹤本底，提供快速可靠的測量結(jié)果，優(yōu)化設(shè)計的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng)，高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確?？焖偾搴?，支持氮?dú)馄瓶?，不受環(huán)境氦氣干擾，快速降低本底，機(jī)器的性能支持7*24小時長時間在線測試，機(jī)器的性能支持幾秒一次的高頻率測試，配有檢漏口精細(xì)過濾器，過濾細(xì)微雜質(zhì)，確保機(jī)器不受雜質(zhì)影響和損傷，雙銥絲離子源，有效的系統(tǒng)設(shè)計，防大氣沖擊，支持定制檢漏工作臺，更加便捷使用。
更新時間：2019-09-24 
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